GDs2Mesh

产品介绍

Gds2Mesh 是一个三维 TCAD 模型构建工具，它可以导入 GDSII 版图，然后结合预定义、可定制的工艺规则来生成三维器件模型。

0.13um CMOS 与非门标准单元版图（左图），和 Gds2Mesh 生成的 TCAD 模型（右图）

功能如下：
  • 内嵌三维 CSG 引擎
  • 版图二维多边形拉伸生成三维结构
  • GDSII 文件二维多边形图形提取，或者
  • 脚本生成、调整多边形图形
  • 二维图形和三维体的布尔操作
  • 脚本定制的工艺规则
  • Python 编程接口
  • 掩模板定义掺杂分布区域
  • 高质量四面体网格
  • 常用数据格式网格信息导出

0.13um CMOS D-触发器标准单元版图（上图），和 Gds2Mesh 生成的 TCAD 模型（下图）

0.13um 工艺规则文件首先从版图中提取各个层次的几何信息，然后通过拉伸、以及其他的几何操作，来构造器件的三维几何体。掺杂分布的区域也需要基于版图信息来确定。

CSG 引擎可以生成倾斜的 STI 侧墙、圆滑的 STI 边角、鸟嘴、以及其它精细结构。网格是自动生成的，沟道、结附近的网格是细化的以保证仿真的准确性。生成的器件结构可以直接导入 Genius 执行器件仿真。

生成 GDML 文件

Gds2Mesh 还可以生成 GDML 格式的文件，然后导入VisualParticle/GSeat执行粒子轨迹仿真。GDML 是由Geant4定义的一种标准几何格式。